招标预告详情

哈尔滨工业大学（深圳）等离子增强原子层沉积设备意向公开

正文内容

***工业大学（**）等离子增强原子层沉积设备意向公开采购单位:***工业大学（**）项目名称:等离子增强原子层沉积设备预算金额（元）:*,***,***.***采购品目:电子工业生产设备采购需求概况:用于沉积新型半导体器件所需的栅氧层，包括Al*O*、AlN、HfO*等。设备需配置*路前驱体源，包括*路液体源、*路加热源、*路臭氧源和*路有毒或易燃气体源；配置*套反应腔；支持最大晶圆尺寸*英寸；栅氧层沉积最小厚度≤*nm；等离子发生器功率≥***W；反应室最高工艺温度≥***°C。联系人:简老师联系电话:****-********预计采购时间:****-**备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

相关推荐

打开中招网APP查看更多信息
招标网首页 > 招标预告 >

注册

客服电话400-633-1888
版权所有 © 2005-2025 招标网 zhaobiao.cn
京ICP备12000126号-6 京公网安备11010802024928

该项目详情注册或登录后可继续操作查看

登录