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中国科学院微电子研究所2025年10至11月政府采购意向-关键尺寸量测设备

正文内容

关键尺寸量测设备 项目所在采购意向： ***************年**至**月政府采购意向 采购单位： *********** 采购项目名称： 关键尺寸量测设备 预算金额： ****.******万元(人民币) 采购品目： A********-光学测试仪器 采购需求概况 ： 采购标的名称：关键尺寸量测设备。采购数量为*台。采购标的主要功能：满足*英寸晶圆在DUV光刻中关键尺寸测量，可与光刻机在线联动，对应**nm以上工艺节点，分辨率*nm，静态重复精度*nm，动态重复精度：线*.*nm，孔*.*nm，采购标的需满足的质量，服务，安全，时限：提供设备验收合格后*年质保及一体化环境工程整体解决方案；设备订单生成后**月内交货安装完成。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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