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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2024年10至12月政府采购意向

正文内容

高温高真空薄膜沉积系统 项目所在采购意向： ***********************年**至**月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 高温高真空薄膜沉积系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********电子工业生产设备 采购需求概况 ： 用于实现高质量的氧化物、氮化物及多元金属/化合物薄膜的制备，工艺腔极限真空满足低于*E-*Torr，基片加热温度能达到***℃的能力，能达到三路工艺气体且控制精度不高于读数的±*.*%;带传片LoadLock;配置样品反溅射和离子源系统，以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 详见项目详情 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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