zycgr240415012025年4至12月政府采购意向-有机金属化学气相沉积
正文内容
有机金属化学气相沉积 项目所在采购意向： *****************年*至**月政府采购意向 采购单位： ************* 采购项目名称： 有机金属化学气相沉积 预算金额： ****.******万元(人民币) 采购品目： A********电气物理设备 采购需求概况 ： *台 垂直式进气方式； 样品尺寸满足****，***，***，***，****： 采用直流电源加热，最高加热温度****℃，温度偏差小于*.*℃； 包含*路硫源MO源，*路钼源MO源和*路气态源； 材料种类：n型MoS*； 最高工艺温度：****℃； 外延尺寸：兼容*英寸晶圆。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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