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哈尔滨工业大学（深圳）等离子增强原子层沉积设备意向公开-等离子增强原子层沉积设备

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等离子增强原子层沉积设备 项目所在采购意向： ***********等离子增强原子层沉积设备意向公开 采购单位： *********** 采购项目名称： 等离子增强原子层沉积设备 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： 电子工业生产设备 采购需求概况 ： 用于沉积新型半导体器件所需的栅氧层，包括Al*O*、AlN、HfO*等。设备需配置*路前驱体源，包括*路液体源、*路加热源、*路臭氧源和*路有毒或易燃气体源；配置*套反应腔；支持最大晶圆尺寸*英寸；栅氧层沉积最小厚度≤*nm；等离子发生器功率≥***W；反应室最高工艺温度≥***°C。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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