中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2025年1至12月政府采购意向

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等离子体超高真空高温原子层沉积（ALD） 项目所在采购意向： ***********************年*至**月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 等离子体超高真空高温原子层沉积（ALD） 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他电工、电子生产设备 采购需求概况 ： 采购等离子体超高真空高温原子层沉积设备*台，用于实现超薄二维原子晶体材料大尺寸、大晶粒、原子层可控制备。生长样品尺寸可兼容*英寸，生长加热温度可达***℃，加热台最高加热温度可达****℃；包含*路前驱体源管路，其中*路为常温源，*路为加热源，前驱体源加热温度不低于***℃；包含热ALD和PEALD两种模式。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 离子刻蚀显影系统 项目所在采购意向： ***********************年*至**月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 离子刻蚀显影系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他电工、电子生产设备 采购需求概况 ： 采购离子刻蚀显影系统*套，用于真空互联的前提下探索新的纳米加工技术开发，实现真空互联干膜光刻胶显影和无掩膜图形化，避免水氧接触，完成真空器件图形化。以缓冲腔与超高真空管道互联，缓冲腔真空度≤*×**-*Pa；反应室真空度≤*×**-*Pa；至少*路气体，H*、O*、Ar、N*等气体，同时预留*路供切换其他气体，均以MFC控制流量；可实现*英寸样品刻蚀深度*** nm，不均匀性≤ ±*% 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 电子图形化设备 项目所在采购意向： ***********************年*至**月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 电子图形化设备 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他电工、电子生产设备 采购需求概况 ： 采购一台电子图形化设备，用于在器件工艺中实现**nm高精度图形的制备‌。通过电子束轰击电子敏感材料，精确控制电子束的扫描和定位，在材料上形成图形。最小光刻线宽≤** nm；电子枪最大加速电压≥** kV；最小聚焦束斑≤* nm；套刻精度≤** nm。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 离轴射频偏置磁控溅射 项目所在采购意向： ***********************年*至**月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 离轴射频偏置磁控溅射 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他电工、电子生产设备 采购需求概况 ： 采购一台离轴射频偏置磁控溅射，用于*** nm及以下尺寸样品的金属、氧化物、氮化物薄膜材料的单层或多层沉积生长。溅射腔本底真空优于*E-* Pa；磁控溅射源共*个，包含*个离轴溅射源和*个共焦溅射源；样品尺寸兼容*~*英寸。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 气氛可控激光微区退火及处理设备 项目所在采购意向： ***********************年*至**月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 气氛可控激光微区退火及处理设备 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他电工、电子生产设备 采购需求概况 ： 采购气氛可控激光微区退火及处理设备，一台。可以面向超导量子比特以及二维材料异质结芯片进行精准退火处理，优化界面接触特性，从而提升芯片性能。能够实现不同气氛下的不同类型退火与器件局部选择性退火等功能。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 深紫外相干飞秒种子光源 项目所在采购意向： ***********************年*至**月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 深紫外相干飞秒种子光源 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********激光仪器 采购需求概况 ： 采购深紫外相干飞秒种子光源，采购*台，采购标实现的主要功能： 升级ARPES系统，将在原来常规动量空间能带结构表征的基础上，实现新型光电材料的超快**学响应研究。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。