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哈尔滨工业大学(深圳)汞探针C-V测量仪意向公开

正文内容

***工业大学(**)汞探针C-V测量仪意向公开采购单位:***工业大学(**)项目名称:汞探针C-V测量仪预算金额(元):*,***,***.***采购品目:物理特性分析仪器及校准仪器采购需求概况:采购*台汞探针C-V测量仪,用于测量半导体材料外延层的掺杂浓度和均匀性。设备支持晶圆尺寸:*、*、*、*、*英寸兼容;载流子浓度测试范围:*E**/cm*~*E**/cm*;载流子浓度测试重复性:*σ<*.*%;测试精度:*σ<*%;汞接触面积重复性*sigma < *.**%;单点测试时间:<**s/点。联系人:简老师联系电话:***********预计采购时间:****-**备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

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