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深圳大学玻璃通孔金属化填充与抛光系统意向公开

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**大学玻璃通孔金属化填充与抛光系统意向公开 采购单位: **大学 项目名称: 玻璃通孔金属化填充与抛光系统 预算金额（元）: *,***,***.*** 采购品目: 电子工业生产设备 采购需求概况: 本项目主要包含玻璃通孔金属化填充设备与化学机械抛光设备两大核心系统。玻璃通孔金属化填充设备专为实现TGV（Through Glass Via）内部高精度铜填充而设计，具备以下技术特性：*）可完美实现**-***μm孔径范围内的孔内铜均匀填充，铜填充均匀性（COV）高达**%以上；*）兼容*英寸和*英寸标准晶圆加工，支持*.*-*.*mm厚度范围的玻璃基板处理。设备集成先进的真空预浸系统和精密电镀系统（含阴阳极配置），配套高精度超声波流量计（精度达±*.*%FS）和智能天车系统（重复定位精度≤±*.*mm），确保工艺过程的高度可控性。 化学机械抛光设备采用全自动化设计，主要功能包括：*）选择性去除表面凸起金属，实现晶圆表面纳米级平坦化；*）支持*/*英寸晶圆双面同步处理，提供刷内出液和刷外滴液两种化学品供给模式；*）配备高性能滚刷系统（转速≥***rpm）和精密旋转平台（晶圆转速**-***rpm可调），并具备高速甩干功能（≥****rpm）。该设备特别优化了清洗工艺，通过多级刷洗单元和智能终点检测系统，确保表面处理的一致性和可靠性。 预计采购时间: ****-* 联系人: 张老师 联系电话: *********** 备注: 无 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

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