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zycgr240415012025年4至12月政府采购意向-化学气相沉积设备

正文内容

化学气相沉积设备 项目所在采购意向： *****************年*至**月政府采购意向 采购单位： ************* 采购项目名称： 化学气相沉积设备 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********电气物理设备 采购需求概况 ： 化学气相沉积设备*台； 加热区：三段加热； 升温速率：**℃/s； 本底真空度：小于**Pa； 最高工艺温度：****℃； 外延尺寸：兼容*英寸晶圆 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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