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zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-金属电子束蒸镀系统

正文内容

金属电子束蒸镀系统 项目所在采购意向： *****************年*至**月政府采购意向 采购单位： ************* 采购项目名称： 金属电子束蒸镀系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********电气物理设备 采购需求概况 ： *台 蒸镀腔极限真空：≤ *×**-* Torr； 工艺腔体回压率：≥ *×**-* Torr·L/s； 电子枪功率：** KW； 坩埚蒸发源：≥*； 腔体尺寸：*英寸兼容； 蒸镀均匀性：片内均匀性≤±*%； 蒸发速率：*.**-*nm/s之间可调； 蒸镀金属种类：Ti, Au, Ni, Cr, Al 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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