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zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-远程等离子体表面处理机

正文内容

远程等离子体表面处理机 项目所在采购意向： *****************年*至**月政府采购意向 采购单位： ************* 采购项目名称： 远程等离子体表面处理机 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********电气物理设备 采购需求概况 ： *台 腔体尺寸：*英寸兼容； 工艺腔本底真空：≤*.* mTorr； 工艺腔漏气率：≤*mTorr/min； 工艺控压范围：*-** mTorr； 工艺腔控温范围：室温-***℃； 上射频电源功率：≥****W； 下射频电源功率：≥****W； 配置工艺气体：*路，包括Ar,O*，He,N*，SF*, Cl* ； 分子泵抽速：≥****L/s 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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