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zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-金属分子束外延

正文内容

金属分子束外延 项目所在采购意向： *****************年*至**月政府采购意向 采购单位： ************* 采购项目名称： 金属分子束外延 预算金额： ****.******万元(人民币) 采购品目： A********电气物理设备 采购需求概况 ： *台 腔体尺寸：*英寸兼容； 工艺腔体极限真空：小于*×**-** Torr； 超高真空抽气系统：冷凝泵，离子泵，钛升华泵； 衬底温度：***-***℃温度范围可调； 片间温度均匀性：≤*℃； 样品台旋转速度：**/min； 坩埚数目：≥*个； 坩埚才离职：PBN； 不锈钢氮气吹扫管，配水冷压缩机； 镀膜速率：*.*-*nm/s范围可调； 高真空铜垫圈密封； Sb金属沉积配置裂解源； 蒸发挡板开关次数：≥***万次； 蒸发挡板开关时间：≤*s 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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