招标预告详情

zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-等离子增强化学气相沉积

正文内容

等离子增强化学气相沉积 项目所在采购意向： *****************年*至**月政府采购意向 采购单位： ************* 采购项目名称： 等离子增强化学气相沉积 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********电气物理设备 采购需求概况 ： *台 工艺腔基座：AlN陶瓷加热器； 腔体温度：最高可达***℃； 高频电源功率：≥ ****W； 低频电源功率：≥ ****W； 工艺腔本底真空：≤ ** mTorr； 工艺腔体漏率：≤ * mTorr/min； 工艺气体：N*, He, SiH*, NH*，O* 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

相关推荐

打开中招网APP查看更多信息
招标网首页 > 招标预告 >

注册

客服电话400-633-1888
版权所有 © 2005-2025 招标网 zhaobiao.cn
京ICP备12000126号-6 京公网安备11010802024928

该项目详情注册或登录后可继续操作查看

登录