中国科学院微电子研究所2025年10至11月政府采购意向-高精度扫描电子显微镜
正文内容
高精度扫描电子显微镜 项目所在采购意向: ***************年**至**月政府采购意向 采购单位: *********** 采购项目名称: 高精度扫描电子显微镜 预算金额: ****.******万元(人民币) 采购品目: A********-光学测试仪器 采购需求概况 : 采购标的主要功能:满足*英寸晶圆观测,二次电子图象分辨率*.***********,*.***********;放大倍数:***~*,***,***;具备sTEM和能谱,能够在腔体内原位退火与电学测试。采购标的需满足的质量,服务,安全,时限:提供设备验收合格后*年质保及一体化环境工程整体解决方案;设备订单生成后**月内交货安装完成。 预计采购时间: ****-** 备注: 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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