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中国石油大学（华东）2025年3至12月政府采购意向-等离子增强型化学气相沉积系统

正文内容

等离子增强型化学气相沉积系统 项目所在采购意向： **************年*至**月政府采购意向 采购单位： ********** 采购项目名称： 等离子增强型化学气相沉积系统 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********其他仪器仪表 采购需求概况 ： 等离子增强型化学气相沉积系统为**********海洋能源勘探开发装备与技术中心建设的关键设备，能满足海洋磁力量子精密探测与通信技术及应用需求，该系统以其低温沉积高质量薄膜的优势，为制造高性能微型谐振腔和相干光源芯片提供了技术支撑，是提升海洋探测系统芯片能力的核心设备。等离子增强型化学气相沉积系统主要包括等离子体生成装置*套、反应腔体*个、气路输送系统*套、真空及温控系统*套、要求提高系统级联调试服务，确保各子系统协同工作，包含基板台与传输机构确保沉积均匀性，质保期≥*年，提供*×**小时远程技术支持，每年提*次预防性维护服务，合同签订后**天内完成设备交付，**天内完成系统集成与验收。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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