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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2025年4至5月政府采购意向-三维光学轮廓仪

正文内容

三维光学轮廓仪 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 三维光学轮廓仪 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********-设备_A********-电工、电子生产设备_A********-电工生产设备 采购需求概况 ： 三维光学轮廓仪具备白光干涉、相位差干涉、共聚焦三种测量模式；物镜数量*个及以上，水平分辨率优于*.*μm，垂直分辨率优于*.*nm。CCD相机像素大于等于***万，帧率大于等于***；配备电动位移台，可实现晶圆位姿调整；配备数据批量处理软件，配备数据分析软件。以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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