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哈尔滨工业大学（深圳）洁净间配套设备意向公开

正文内容

***工业大学（**）洁净间配套设备意向公开采购单位:***工业大学（**）项目名称:洁净间配套设备预算金额（元）:*,***,***.***采购品目:科研用房采购需求概况:采购半导体加工平台所需的洁净间配套设备，包括：氢气（*N）、氩气（*N）、氨氢混合气纯化器；尾气处理器*台；特殊气体输送管道；尾排和排风管道；给排水管道；大型设备移位和电缆接入；工艺优化临时场地洁净间排风系统、FFU、板材等。供应气体种类：高纯氢气、高纯氮气、高纯氩气、高纯氨氢混合气、普通氮气、硅烷、乙炔、三氯硅烷、HCl、三甲基铝、压缩空气、氧气、BF*、PF*、F*、SF*、CH*、C*H*、氯气、HBr等。支持氢气流速不低于***slm、氩气流速不低于**slm、普通氮气流速不低于**slm、高纯氮气流速不低于**slm、TCS流速不低于**slm。尾气处理系统可处理有机气体、氨气、固体颗粒等。供水管道可供应电阻不低于*MΩ的去离子水，接入设备口流速不低于**L/min。联系人:简老师联系电话:***********预计采购时间:****-**备注:无本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

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