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松山湖材料实验室2024年07月至2024年08月政府采购意向

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********铟蒸发台设备采购项目 项目所在采购意向： ************年**月至****年**月政府采购意向 采购单位： ******** 采购项目名称： ********铟蒸发台设备采购项目 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： 采购需求概况 ： 标的名称:铟蒸发台 标的数量:* 主要功能或目标:该设备主要用于微纳加工工艺中*英寸及以下晶片In柱蒸发制备工艺 需满足的要求:"主要技术指标和要求： *）样品尺寸：*寸向下兼容，可进行碎片工艺； *）蒸发入射角＜*°； *）工件台可控低温不高于-**℃，控温精度优于±*℃； *）片内均匀性：≤±*%（*寸）； *）工艺重复性：≤±*%；" 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 ********临界点干燥仪设备采购项目 项目所在采购意向： ************年**月至****年**月政府采购意向 采购单位： ******** 采购项目名称： ********临界点干燥仪设备采购项目 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： 采购需求概况 ： 标的名称:临界点干燥仪 标的数量:* 主要功能或目标:该设备主要用于微纳加工工艺中*英寸及以下晶片MEMS等器件的临界点干燥工艺。 需满足的要求:"需满足的工艺技术指标： *、样品尺寸：*-*寸； *、干燥器件：MEMS器件、生物传感器及各类微机械传感器等; *、干燥介质：液态二氧化碳（LCO*）； *、单次*寸晶圆处理能力：≥*片； *、内置过滤装置，过滤流进样品室的液态二氧化碳：≤*.*um； *、压力范围：*-****psi； *、温度范围：-**至**℃。" 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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