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松山湖材料实验室2025年05月至2025年10月政府采购意向

正文内容

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔****〕**号）等有关规定，现将本单位****年**月至****年**月采购意向公开如下： 序号 采购项目名称 采购需求概况 落实政府采购政策情况 预算金额(元) 预计采购时间 备注 * **湖材料实验室ICP刻蚀设备采购项目 标的名称：ICP刻蚀设备采购项目 标的数量：* 主要功能或目标：该设备主要用于微纳加工工艺中*英寸及以下基片上的多种金属薄膜材料的刻蚀工艺。 需满足的要求：*、样品尺寸：*-*寸； *、刻蚀材料：Si、SiO*，SiN等半导体材料，常见金属以及金属基材料; *、配备CF*、CHF*、SF*、Cl*、BCl*等工艺气体； *、片内、片间均匀性（*寸）：≤±*%； *、 SiN刻蚀指标： *) 刻蚀速率：>***nm/min； *) PR选择比：>*； *) 侧面倾角：>**°; 遵循落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位贫困地区农副产品等政策情况 *,***,***.** ****年**月 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。 **湖材料实验室 ****年**月**日 信息地址:https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/freecms/site/gd/ggxx/info/****/*a*ebe****eca**f****faec*e******.htmlnoticeType=**

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