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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所2025年4至5月政府采购意向-快速GaN刻蚀机

正文内容

快速GaN刻蚀机 项目所在采购意向： ***********************年*至*月政府采购意向 采购单位： ******************* 采购项目名称： 快速GaN刻蚀机 预算金额： ***.******万元(人民币) 采购品目： A********-设备_A********-电工、电子生产设备_A********-电子工业生产设备 采购需求概况 ： 快速GaN刻蚀机用于实现*/*英寸GaN材料的快速刻蚀工艺加工，设备具备传片LoadLock+工艺腔模块；全自动卡塞传片模式，采用静电吸盘；刻蚀GaN速率≥***nm/min；*英寸片内刻蚀非均匀性≤±*%。以实际公告为准。 预计采购时间： ****-** 备注： 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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