[BA202401238]光刻机采购计划
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采购信息 项目编号 BA********* 项目名称 光刻机采购计划 经办人单位 电子科学与工程学院 经办人 王宝续 预算金额 ******.** 人民币 成交金额 ******.** 人民币 成交供应商 **中芯启恒芯片科技有限公司 质保期 ** 月 联系地址 **省-***-工业园区东富路**号联创产业园*幢*层 采购单位 ****电子科学与工程学院 付款方式 货到验收合格办理相关手续后***%付款。 供应商联系手机 *********** 交货时间 成交单签订后**天内交货 交货地址 **省-***-**大街****号唐敖庆楼D区超净实验室 交货方式 乙方免费将产品送达甲方用户单位指定地点。 包装及运费 由乙方免费提供及承担 验收方式 以成交单为准，参考相关内容进行验收。验收程序以甲方职能部门规定为准。 售后服务要求 *. 质保期：货到验收合格之日起**个月 *. 售后服务提供商：**中芯启恒芯片科技有限公司 *. 售后服务机构情况： 规模（技术人员人数）：**人 联系人：曹军 联系电话：*********** 服务机构地点：**省***工业园区东富路**号联创产业园*幢*层 *. 服务响应时间与服务内容： 电话响应时间：*小时 人员到达现场时间：*小时 排除故障时间：**小时 *. 培训方案： 培训次数：*次 培训人员数量：**人 培训地点：**** 费用：免费 *. 本产品专用试剂的优惠供给计划：无 *. 其它服务承诺：无 采购材料 明细清单 采购品目 其他电工、电子生产设备 品牌名称 无 名称 光刻机 产地及生产商 中国-**中芯启恒芯片科技有限公司 规格型号 Cchip-**** 数量 * 计量单位 台 保修年限 *年 单价 ******.** 人民币 总价 ******.** 人民币 主要技术参数 *） 曝光面积： ***mm× ***mm *） 曝光波长： ***nm： **mW/cm* *） 分辨力： *.*um *） 对准采用双视场对准显微镜： 通过 CCD+显示器对准， 光学合像， 光学+电子放大 *** 倍 *） 显微镜扫描范围： X： ±**mm， Y： ±**mm *） 对准精度： ±*.*um *） 掩模尺寸： * 英寸、 * 英寸、 * 英寸 *） 样片尺寸： * 英寸、 * 英寸、 * 英寸； 厚度 *.*mm--*mm *） 曝光方式： 定时（倒计时方式） **） 照明不均匀性： *%（ f***mm 范围） **） 掩模相对于样片运动行程： X: ±*mm; Y: ±*mm; q: ±* 度 **） 曝光光源： 紫外 LED **） 曝光强度： **mW **） 最大胶厚： *** um **） 光源平行性： ＜*.*° **） 曝光头在曝光启动时， 水平方向自动伸出， 曝光结束后， 水平方向自动缩回 **） 采用 *.* 英寸高灵敏度触碰式液晶屏， 可直接设置曝光参数， 无需鼠标和键盘 **） 掩膜夹和承片台采用采用推拉式基准平板、 真空吸附的方式， 方便快捷， 工作效率高 **） 外形尺寸： ***mm（长） ***mm(宽) ***mm（高）
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