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等离子磁控溅射镀膜仪成交公示

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等离子磁控溅射镀膜仪成交公示 日期:****-**-** **:**:** 采购信息 采购单位名称 智能科学与技术系 采购项目名称 等离子磁控溅射镀膜仪 成交供应商 ******帅霆实验仪器销售经营部 成 交 价 *****元 联系方式 联系邮箱 *********** 公示时间 自发布公示之日起*个工作日 采购清单 序号 物资名称 规格型号 单价 数量 技术参数 * 等离子磁控镀膜仪 **科晶/VTC-*RF ***** *台 *. 射频输出功率：*-***W *. 射频输出频率：**.** MHZ *. 靶材尺寸要求：φ***（*.*-*）mm厚 *. 腔室尺寸：外径φ****内径φ****高*** mm，采用高纯石英制作 *. 腔室真空度： <*×**-* torr （采涡旋分子泵） *. 样品台尺寸：直径**mm （最大可放置*英寸的基片） *. 样品台旋转速度：*- ** rpm（可调速） *. 样品台的最高加热温度为***℃(短期使用，恒温不超过*小时) *. 真空测量范围：*.*×***Pa~*.*×**-*Pa

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