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深圳大学-结果公告(CB105902025000181)

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基本信息: 申购单号：***************** 申购主题：匀胶旋涂仪 采购单位：**** 竞价开始时间：****-**-** 竞价截至时间：****-**-** 币种：人民币 成交总额：******.** (人民币) 送货时间：合同签订*天内送货 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址： 付款方式：货到验收合格后付款 备注说明： 质疑说明：如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑 采购结果: 序号采购项品牌/型号/厂家/产地规格参数质保及售后服务数量单位/单价成交总价成交供应商*匀胶旋涂仪品牌：Laurell 型号：WS-***Mz-*NPPB 厂家： 产地：美国 主要技术参数： *．处理腔体 *.* Wafer 芯片尺寸至少满足 **-***mm 直径的材料，方片 ***x***mm，无需 更换片托； *.* 腔体具有易清洁的 NPP 天然聚丙烯材质； *. 转动马达 *.* 转动速度至少满足 *-**,***rpm， *.* 旋涂加速度不小于 **,***rpm/sec； *.* 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±*%； *. 控制系统 *.* 工艺时间设定范围至少满足 *-****.* sec/step ，设定时间精度不超过 *.*s； *.* 配有高精度 PLC 可编程的控制器； *.* 可存储不少于 ** 个程序段，每个程序段可设置不少于 ** 个不同步骤的速度 状态； *.* 分辨率不超过 *RPM，重复性误差不超过 *RPM，具有国际标准认证，并且 无需再校准； *.* 配有蓝牙无线连接； *.* 带自动滴胶、晶圆去边 * 安全构造 *.* 电子绝缘负载双保护装置； *.* 嵌锁的安全盖板； *.* 防腐装置； *.* 设有保护气体装置：旋涂过程中可以充氮气或压缩气体，对旋转马达进行气 流保护； * 系统附件 *.* Windows 操作软件； *.* 原装进口水平测试仪； *.* 两袋密封圈； *.* 配有两套可更换的废液接收单元； *.* 配套泵浦 售后服务 *.由原厂提供全新设备(包括零部件)，且设备的各零部件是产品出厂时的原始配置，设备质量符合国家质量检测标准，提供设备校准证书。 *、整机一年内同一故障维修两次仍不能正常使用可免费更换。 *、免费保修**个月。 *、不接受快递物流送货，交货时出具制造商售后服务承诺函；由原厂指派制造单位技术人员，对采购单位的操作、维护人员免费进行技术指导和培训。 *、合同设备出现故障时，供应商确保及时维修，并确保在接到用户方服务要求，*小时内做出回应，电话指导不能排除的故障，*小时内现场进行服务。并承诺**小时内修复故障。 数量：* (台) 单价：******.**(人民币) ******.**(人民币) **航赛进出口有限公司

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