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(挥发性材料真空沉积腔体)北京大学深圳研究生院-结果公告(CB10001SZ2024000028)

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基本信息： 申购单号：******************* 申购主题：挥发性材料真空沉积腔体 采购单位：********** 竞价开始时间：****-**-** 竞价截至时间：****-**-** 币种：人民币 付款方式：付**%发货，验收合格付**%尾款。 备注说明： 质疑说明：如果对成交结果有异议，请在发布成交结果之日起三个工作日内向采购单位提出质疑 成交总额：******.* 送货时间：合同签订后***天内送达 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址： 竞价结果： 采购项 品牌 单项预算 成交单价 质保及售后服务 技术参数 数量 单位 型号 成交总价 成交供应商 挥发性材料真空沉积腔体 **外延科技 ******.** (*)服务时间响应: 免费保质期*年，从验收合格之日起计算。免费保质期内，供应商需对由于设备的缺陷而发生的任何不足或者故障负责，并承担所涉及的费用。供应商应派专人负责与采购人联系售后服务事宜，在接到采购人通知的*小时内排除故障，若在三个工作日内不能修复的，需采取相应措施，**更换设备、更换部件等，以保证采购人的正常工作。 (*)免费保质期后服务: 免费保质期过后，供应商需提供终身免工时费保养维修服务。供应商应每年定期或不定期上门查看设备运行状况，不定时电话跟进设备运行状况。若在接到采购人通知对设备进行维修保养时，供应商需专程派遣技术人员到现场进行服务，视实际情况收取维修费用（除工时费）。 *、脉冲沉积腔室 *.*腔室主体采用***L不锈钢材质，直径≤***mm，采用球形设计，内部做电抛光处理，腔室法兰均为金属密封，配有真空泵接口，真空规接口，激光入射石英窗接口，红外测温接口。 *.*沉积腔室配有观察视窗接口，配置差抽快开门，配有主动抽气系统，更好密封性兼容超高真空。 *、沉积腔室真空系统 *.*沉积系统烘烤后极限真空≤*×**-*mbar。 *.*分子泵：选用复合轴承结构，抽速不小于 ***L/s（N*）。 *.*涡旋干泵：抽速≥*L/s，极限真空≥*.**mBar，峰值抽速≥**.*m*/h。 *.*全量程真空计 * 套，测量范围从大气压至≤**-*Pa；薄膜真空计*套，测量范围不小于*Torr。 *.*配有有旁抽装置可在不停分子泵的条件下进行粗抽操作，实现快速换样和真空获取。 *、高温样品台 *.*兼容真空互联FLAGTYPE样品托以及方型SIC样品托，样品最大尺寸**mm * **mm。 *.* 红外激光加热，最高温度≥****℃，PID控温样品升温速率*～**℃可调，控制精度≤±*.*℃，激光加热光斑大小可调节。配有红外测温仪，测量范围***-****℃。 *.*配置四轴样品台，移动范围：X：±**.*mm，Y：±**.*mm，Z：**mm，样品台旋转速度自转*-**RMP连续可调。 *、靶台系统 *.*配置不少于 *个 *英寸向下兼容靶位，靶基距可调。 *.*四轴靶台，*靶位扫描靶台，移动范围X：±**.*mm，Y：±**.*mm，Z：***mm，公转：***°，靶之间配置两级防交叉污染挡板。 *、控制和辅助系统 *.*激光光路：铝型材光路支架及亚克力玻璃保护罩，激光水平入射靶材，方便多台PLD腔体的光路复用。 *.*激光光路配有*块高损伤阈值***nm光学透镜，焦距f=***mm，*块*英寸激光反射镜和配套反射镜支架、透镜支架及透镜滑轨。 *.*工艺气路，二路气体N*, O* 并配有隔膜阀。 *.*工艺气压控制；样品台加热软件控制模块；靶台扫描和公转控制模块，具有待机状态自动停止扫描功能；样品和靶材位置软件控制，配有位置保存和载入模块，高效传样和传送靶台，提高生长效率和重复性；脉冲激光脉冲控制，提供计数模式和连续模式；生长编程模式，一键多层模和超晶格生长自动控制。 *.* 台 ET-NanoPLD-**** ******.** **********

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