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等离子体清洗机

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采购信息 采购单位名称 电子科学系 采购项目名称 等离子体清洗机 成交供应商 **赛恩斯精密仪器有限公司 成 交 价（元） ***** 采购清单 序号 物资名称 规格型号 单价（元） 数量 技术参数 * 等离子体清洗机 HM-Plasma-*L ***** * 腔体材质:石英 供电电源:AC ***V工作电流:*.*A(不含真空泵)射频电源功率:*-*** W可调 射频频率:**.** MHz 频率偏移量:小于*.* kHz 特性阻抗:**欧姆，自动匹配 真空度:*-** Pa 等离子清洗机 型号(HM-Plasma-*L) 气体路数:双路气体输入 气体流量:**-***ml/min(可调) 过程控制:PLC人机界面自动与手动方式 清洗时间:*-****s可调 刻蚀速率:*-** nm/min 功率大小 **%-***%可调 内腔尺寸 直径***x*** mm(容积~*L) 外形尺寸:***x***x*** mm 重量:** kg 真空泵:*XZ-*+油污过滤器 真空室温度:小于**°C 冷却方式:强制风冷

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